سیستمهای فیلتراسیون و تخلیص روغن در شرایط خلا، شامل چند مرحله فیلتراسیون جهت حذف ذرات جامد و فرایند تقطیر در خلا جهت جداسازی آب ، هوا و گازها از سیالات هیدرولیک ، روغنهای روانکار و سیالات عایق الکتریکی و روغنهای ترانسفورمر می باشند.
مزیت بارز این سیستم ها، توانایی عالی در جداسازی آب از روغن می باشد. آب که از طریق جذب رطوبت هوا و یا نشتی از مبدلهای حرارتی به داخل روغن درسیستمهای هیدرولیک و روانکاری نفوذ می کند، به دو گروه آب آزاد و آب محلول تقسیم بندی می شود.
روغن تا رسیدن به نقطه اشباع (به عنوان مثال 200 ppm برای روغن هیدرولیک) ، آب را جذب نموده و تا این نقطه، محلول در روغن و جزیی از ساختار آن محسوب می گردد. نوسانات فشار و دما باعث جذب رطوبت بیشتر شده و تجاوز مقدار آب موجود در روغن از مقدار اشباع، سبب خروج آب از ساختار روغن و تشکیل آب امولسیون می گردد. قطرات بسیار ریز آب آزاد (کمتر از 0.1 micron) باعث آسیب و سایش سیستم می گردد. لذا آلودگی آب در سیستم می بایست کنترل گردد.
نقطه اشباع روغن از رطوبت، تابع نوع روغن ( مولکولهای قطبی و سورفاکتانتها ) ،درجه حرارت و فشار می باشد. در نمودار، وابستگی حد اشباع بعضی روغنهای صنعتی به درجه حرارت قابل بررسی است.